金融界2024年10月25日音讯,国家知识产权局信息数据显现,拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司获得一项名为“烘干设备和激光加工设备”的专利,授权公告号CN 221859144 U,请求日期为2024年3月。
专利摘要显现,本请求供给了一种烘干设备和激光加工设备。 烘干设备用于烘干硅片。烘干设备包含移交组件、加热组件和隔热组件。移交组件包含榜首移交件和第二移交件。榜首移交件和第二移交件均被装备为沿榜首方向移交硅片。第二移交件和榜首移交件沿第二方向距离设置。榜首方向和第二方向彼此笔直。加热组件设于榜首移交件和第二移交件之间。隔热组件包含榜首隔热件和第二隔热件。榜首隔热件设于加热组件与榜首移交件之间。第二隔热件设于加热组件与第二移交件之间。本请求供给的一种烘干设备,可以在运送硅片的一起烘干硅片。
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